預處理常由石英沙過濾器，活性碳過濾器，保安過濾器組成，目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體、懸浮物、色素、異味、生化有機物等有害物質。如果原水中鈣鎂離子含量較高時，還需增加軟化水裝置，目的在于保護反滲透膜不受離子化合物污染，從而延長反透膜的使用壽命。
反滲透主機主要由增壓泵、反滲透膜、控制電路等組成，是整個水處理系統中的核心裝置。反滲透膜對水中鹽分的過濾能力能達到98%以上，一級反滲透出水電導率可保證在10us/cm（25度）以內。
精處理裝置主要是對純水作進一步的處理，可根據用戶對水質的要求配置，如后續工藝接離子交換或電去離子（EDI）設備、紫外線殺菌燈或者臭氧發生器等。
清洗裝置主要是對反滲透膜元件進行化學清洗，當反滲透設備運行一段時間后，會在膜元件表面形成污垢，為了不影響設備的正常使用，必須對膜元件進行清洗。清洗周期根據實際使用狀況來確定。